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化學機械拋光液全品類產品矩陣

化學機械拋光是集成電路芯片制造過程中實現晶圓全局均勻平坦化的關鍵工藝,化學機械拋光液是化學機械拋光工藝過程中使用的主要化學材料。根據拋光對象不同,公司化學機械拋光液包括銅及銅阻擋層拋光液、介電材料拋光液、鎢拋光液、基于氧化鈰磨料的拋光液、襯底拋光液和用于新材料新工藝的拋光液等產品。目前公司銅及銅阻擋層系列化學機械拋光液,可以滿足國內芯片制造商的需求,并已在海外市場實現突破;其他系列化學機械拋光液已供應國內外多家芯片制造商,具體生產規模會根據客戶需求量進行調節。

銅及銅阻擋層化學機械拋光液
用于集成電路制造工藝中銅互連的平坦化,產品已在邏輯芯片、存儲芯片等制程上量產使用。持續研發并驗證用于下一代技術節點用的產品。
鎢化學機械拋光液
用于集成電路制造工藝中金屬鎢的去除和平坦化。目前鎢拋光液在存儲芯片和邏輯芯片領域的應用范圍和市場份額持續穩健上升,公司緊跟行業領先客戶的先進制程,提前進行技術平臺的布局及技術能力的積累, 多款鎢拋光液在先進制程通過驗證并順利實現量產。
介電材料化學機械拋光液
用于集成電路制造工藝中介電材料如二氧化硅、氮化硅等的去除和平坦化。產品已在邏輯芯片、存儲芯片等制程上量產使用。
基于二氧化鈰磨料的拋光液
用于集成電路制造工藝中淺槽隔離和其他需要高速去除二氧化硅的拋光工藝中。基于二氧化鈰磨料的拋光液具有高速去除二氧化硅、高選擇比、高平坦化效率等優點,并且可以根據客戶需要開發多種新產品并順利實現量產。
襯底化學機械拋光液
用于硅襯底材料的拋光,包括硅粗拋液、硅精拋液等產品系列。安集緊跟國內大硅片企業的發展和打造材料自主可控能力的趨勢,充分了解客戶的需求后定制化開發拋光液產品,公司研發的新型硅拋光液在客戶端順利上線。
用于新材料新工藝的化學機械拋光液
依托化學機械拋光液技術及產品平臺,緊密配合客戶制程需求,研制開發用于新技術、新工藝的化學機械拋光液。包括用于先進封裝技術中的TSV通孔拋光液和混合鍵合拋光液,以及適用于聚合物和碳等新材料的拋光液。多個產品已實現量產供應。
功能性濕電子化學品領先技術節點多產品線布局

功能性濕電子化學品是指通過配方技術達到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的配方類濕電子化學品。目前,公司功能性濕電子化學品主要包括刻蝕后清洗液、光刻膠剝離液、拋光后清洗液和刻蝕液系列產品。刻蝕后清洗液、光刻膠剝離液、拋光后清洗液已經廣泛應用于8英寸、12英寸晶圓的集成電路制造領域。

刻蝕后清洗液
鋁刻蝕后清洗液
產品應用于集成電路鋁制程工藝金屬線、通孔及金屬焊盤(pad)蝕刻殘留物去除,提供優異的蝕刻殘留物去除能力、低成本。產品已在8英寸及12英寸邏輯芯片、存儲芯片等領域量產。
銅刻蝕后清洗液
應用于集成電路銅互連大馬士革工藝蝕刻殘留物去除。產品具有優異的蝕刻殘留物去除能力、低缺陷、低成本。產品已經在邏輯芯片多個制程技術節點、3D NAND、DRAM等存儲芯片、CIS等特色工藝及2.5D/3D工藝量產。
TiN硬掩模刻蝕后清洗液
用于集成電路28nm及以下先進工藝大馬士革工藝,提供TiN 硬掩模去除及刻蝕后聚合物清洗方案,產品已經批量量產。
刻蝕液
選擇性刻蝕液
用于特殊工藝需求,提供SiGe/Si/SiN/Poly等不同材料的選擇性刻蝕方案。
CMP后清洗液
銅化學機械拋光后清洗
提供酸性、堿性銅拋光后清洗液體系,用于不同技術節點銅拋光后清洗,有效去除拋光后殘留物并保護銅。產品廣泛應用于90~40nm成熟技術節點、28nm及以下先進技術節點,提供優異銅拋光后清洗及基材保護技術方案。
光刻膠剝離液
光刻膠剝離液
應用于晶圓級封裝、MEMS等先進封裝領域厚膜光刻膠去除。產品具有>100微米光刻膠去除能力、低成本。產品在8英寸及12英寸晶圓級封裝(金凸點、焊錫凸點、柱狀凸點)、MEMS、TSV等工藝量產。
固化后聚酰亞胺(PI)去除
應用于先進封裝工藝,提供HD4100,HD8820,BL301聚酰亞胺固化后清洗方案,產品已經批量量產。
助焊劑去除
用于先進封裝工藝,提供錫銀凸塊回流后助焊劑清洗方案,產品已經批量量產。
電鍍液及其添加劑強化及提升電鍍高端產品系列戰略供應

電鍍是將電解液中的金屬離子通過電化學的方式沉積在陰極表面的工藝, 電鍍液是電鍍工藝中關鍵材料。目前,公司擁有銅、鎳、鎳鐵、錫銀電鍍液系列產品,提供集成電路制造、硅通孔及先進封裝凸點、再分布線工藝等解決方案。應用在6英寸、8英寸、12英寸工藝。

銅電鍍液及添加劑
用于集成電路大馬士革工藝、硅通孔、先進封裝凸點及再分布線等工藝,提供高純銅電鍍方案。產品在先進封裝已經批量量產,集成電路大馬士革工藝及硅通孔工藝驗證中。
鎳電鍍液
用于先進封裝凸點等工藝,起到異種金屬間的阻斷作用。產品批量量產,提供高純、可延展性、低應力解決方案。
鎳鐵電鍍液
用于先進封裝、MEMS霍爾器件等技術,產品已經實現量產。
錫銀電鍍液
用于先進封裝凸點工藝等,提供低速及高速電鍍方案。
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